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成功应用在硅器件上做成硅压力传感器。传感器一般由敏感元件、转换元件、变换电路和辅助电源四部分组成，如图1 所示。图1 传感器的组成敏感元件直接感受被测量，并输出与被测量有确定关系的物理量信号;转换元件将敏感元件输出的物理量信号转换为电信号;变换电路负责对转换元件输出的电信号进行放大调制;转换元件和变换电路一般还需要辅助电源供电。常将传感器的功能与人类5大感觉器官相比拟:光敏传感器--视觉声敏传感器--听觉气敏传感器--嗅觉化成功应用在硅器件上做成硅压力传感器。传感器一般由敏感元件、转换元件、变换电路和辅助电源四部分组成，如图1 所示。图1 传感器的组成敏感元件直接感受被测量，并输出与被测量有确定关系的物理量信号;转换元件将敏感元件输出的物理量信号转换为电信号;变换电路负责对转换元件输出的电信号进行放大调制;转换元件和变换电路一般还需要辅助电源供电。常将传感器的功能与人类5大感觉器官相比拟:光敏传感器--视觉声敏传感器--听觉气敏传感器--嗅觉化
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