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一、产品介绍
1、*适合于检测半导体特气的微量泄漏。
2、采用声光报警。
二、产品参数
型号
XP-703D
检测对象气体
半导体材料气体（胂、膦、乙朋烷、硅烷、氢气等）
检测原理
热线型半导体式
采样方式
自动吸引式
可检测浓度
（单位：ppm）砷烷磷烷乙朋烷硅烷氢气
AsH3PH3B2H6SiH4H2
0.20.30.10.51.0检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10秒以内
聚创环保为您提供全面的技术支持和完善的售后服务！详情咨询：
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型 号
XP-703D
检测对象气体
半导体材料气体（胂、膦、乙朋烷、硅烷、氢气等）
检测原理
热线型半导体式
采样方式
自动吸引式
可检测浓度
（单位：ppm）砷烷 磷烷 乙朋烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10秒以内
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