椭偏仪 返回列表页

UVISEL 2配备了样品可视系统（技术），可用于观察任何样品表面。结合8种尺寸的微光斑，使得光斑可以精确定位于样品上各种限定尺寸的待测区域。

UVISEL 2集成了世界上zui小的无色差微光斑技术，光斑尺寸zui小可达到35μm，实现微区测量时仍能覆盖很大的光谱范围。

专业的DeltaPsi2软件平台，操作简单直观，为薄膜精确分析提供各种优化的测量、建模功能。

UVISEL 2是一款性能优于其它所有机型的型椭圆偏振光谱仪。它继承了经典UVISEL椭圆偏振光谱仪已被证明的zui高精度、zui高灵敏度性能，而且经过重新设计，性能大幅提升。

薄膜测量产品线

椭圆偏光法是一种光学的、可以精确表征薄膜、表面和界面的无损测量技术。椭圆偏振光谱仪主要用于测量薄膜的厚度(从1? 到 30µm) 和光学常数(n,k)。

椭圆偏振光谱仪

*的技术，具备*的薄膜表征能力，能提供zui高灵敏度和精度的测量。

原位和在线椭偏仪

薄膜沉积与刻蚀过程的高精度、高速度监测和控制。

椭偏仪薄膜的质量控制

新技术：薄膜厚度和光学常数的一键式测量!

大面积测量系统

专为显示装置产业设计的系统，能处理第七代显示衬底。

软件

DeltaPsi2 是基于通用图形用户界面(GUI)开发的新一代软件。设计目标是提供一个用户与仪器之间的直观而全面的交互。这个多任务处理软件具备的多功能性，能用于离位和原位的配置并能驱动全自动。