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日本三丰测针
测量范围
X轴 100mm 200mm
Z1轴(检出器) 60mm (水平位置±30mm) Z2 轴 (立柱) 移动范围
300mm 500mm
300mm 500mm
Z1 轴(检出器)
光栅尺类型
弧形 分辨力
CV-3200 系列: 0.04μm, CV-4500 系列: 0.02μm
测针上/ 下运作 弧形移动 测量方向 向前/ 向后 测针方向
CV-3200 系列: 垂直方向 (向上/ 向下单独测量)
CV-4500 系列: 垂直方向 (向上/ 向下根据配重调整)
测力
CV-3200 系列: 30mN (上下可连续测量)
CV-4500 系列: 10, 20, 30, 40, 50mN (根据软件转换)
跟踪角度
向上: 77o, 向下: 83o(根据表面粗糙度,使用标准单切面测针)
驱动部长度基准
X 轴 激光全息光栅尺 Z2轴(立柱) ABS 光栅尺
分辨力 X 轴 0.05 μm Z2轴(立柱) 1 μm
驱动速度X 轴 0 - 80mm/s 外加手动 Z2轴(立柱)
0 - 30mm/s 外加手动
测量速度 X 轴 0.02 - 5mm/s 直线度
X 轴 0.8μm/100mm 2μm/200mm
倾角范围
X 轴 ±45o
精度 (20oC)
CV-3200 系列 X 轴
±(0.8+0.01L)μm L = 驱动长度 (mm)
宽范围: 1.8μm/100mm
窄范围: 1.05μm/25mm
±(0.8+0.02L)μm L = 驱动长度 (mm)
宽范围: 4.8μm/200mm
窄范围: 1.3μm/25mm
Z1轴(检出器)
±(1.6+|2H|/100)μm H = 水平位置上的测量高度 (mm)
CV-4500 系列
X 轴
±(0.8+0.01L)μm L = 驱动长度 (mm)
宽范围: 1.8μm/100mm
窄范围: 1.05μm/25mm
±(0.8+0.02L)μm L = 驱动长度 (mm)
宽范围: 4.8μm/200mm
窄范围: 1.3μm/25mm
Z1轴(检出器)
±(0.8+|2H|/100)μm H = 水平位置上的测量高度 (mm)
外形尺寸(W×D×H)
主机
756×482x966mm 756×482x1166mm
1156×482x1176mm 766×482x966mm
766×482x1166mm 1166×482x1176mm
重量
主机140kg 150kg 220kg
140kg 150kg 220kg
完善的高精度轮廓测量仪
• CV-3200/4500 系列是在Z1 轴(检出器) 上配有高精度弧形光栅尺和新型测臂的轮廓测量仪。高精度弧形光栅尺能直接读取测针的弧形轨迹,以实现高精度和高分辨力。与传统型号相比,新测臂使Z1轴测量范围增大了10mm 同时减少了工件的干扰。测臂安装部采用了磁性链接件,单此接触就能完成测臂的装卸,提高了易用性。
• 专为CV-4500 系列增加了以下两大特性:
(1) 装配双面测针,实现垂直方向(上/下) 连续测量,所获取的数据实现简单分析以往难以测量的内螺纹有效直径。
(2) 测力可在FORMTRACEPAK 软件中设置。无需调整配重位置。
轮廓测量仪选件 CV-3200/4500 系列和 SV-C3200/4500 系列
测臂应用列表
测臂名称
符号 货号
适用测针 直式测臂
AB-31 12AAM101
SPH-5 ,6 ,7 ,8 ,9 SPHW-56 ,66 ,76
偏心式测臂
AB-32 12AAM102
SPH-5 ,6 ,7 ,8 ,9
SPHW-56,66,76
小孔测臂
AB-33 12AAM103 SPH-41,42,43
测针应用列表 测针名称
货号 货号适用测臂
H(mm) CV-3200/4500 SV-C3200/4500
双锥形测针
SPHW-56 12AAM095 AB-31, 32 20
SPHW-66 12AAM096 32
SPHW-76 12AAM097 48
单切面测针
SPH-51 354882 6
SPH-61 354883 12
SPH-71 354884 20
SPH-81 354885 30
SPH-91 354886 42
交叉切面侧针
SPH-52 354887 6
SPH-62 354888 12
SPH-72 354889 20
SPH-82 354890 30
SPH-92 354891 42
圆锥测针针尖角度 30o(蓝宝石)
SPH-53 354892 6
SPH-63 354893 12
SPH-73 354894 20
SPH-83 354895 30
SPH-93 354896 42
圆锥测针针尖角度 30o(超硬合金)
SPH-56 12AAA566 6
SPH-66 12AAA567 12
SPH-76 12AAA568 20
SPH-86 12AAA569 30
SPH-96 12AAA570 42
圆锥测针针尖角度 20o(超硬合金)
SPH-57 12AAE865 6
SPH-67 12AAE866 12
SPH-77 12AAE867 20
SPH-87 12AAE868 30
日本三丰测针
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