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薄膜热应力测试系统(TST )薄膜测试

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参  考  价:面议
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号:TST
  • 品牌:
  • 产品类别:探伤仪|探测仪
  • 所在地:上海市
  • 信息完整度:
  • 样本:
  • 更新时间:2022-05-27 22:50:02
  • 浏览次数:58
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上海昊扩科学器材有限公司

代理商

  • 经营模式:代理商
  • 商铺产品:574条
  • 所在地区:上海上海市
  • 注册时间:2020-12-31
  • 最近登录:2020-12-31
  • 联系人:李经理 (李经理)
  • 电    话:15800598580
产品简介

薄膜热应力测试系统,采用测量光学设计 MOS 传感器,MOS 传感器荣获美国,可快速准确地测量薄膜的曲率、应力强度、随温度变化的曲线关系等。
实时的应力、曲率 VS 温度曲线
程序化控制扫描模式:选定区域、多点线性扫描、全面积扫描
成像功能:样品表面 2D 曲率成像,定量薄膜应力成像分析
测量功能:曲率、曲率半径、薄膜应力、薄膜应力分布和翘曲等

详情介绍

薄膜热应力测试系统(TST )


  薄膜热应力测试系统,采用测量光学设计 MOS 传感器,MOS 传感器荣获美国,可快速准确地测量薄膜的曲率、应力强度、随温度变化的曲线关系等。


产品特点

 获得*的 MOS 多光束技术(二维激光阵列)

 

 采用真空和低压气体保护,可进行温度范围-100~1200°C(多种温度范围可选)的变温测量


 样品快速热处理和冷处理功能


 温度闭环控制保证的温度均匀性和精度


 实时的应力、曲率 VS 温度曲线


 程序化控制扫描模式:选定区域、多点线性扫描、全面积扫描


 成像功能:样品表面 2D 曲率成像,定量薄膜应力成像分析


 测量功能:曲率、曲率半径、薄膜应力、薄膜应力分布和翘曲等


 气体(氮气、氩气和氧气等)Delivery 系统


 可采用泵入液氮冷却,zui大冷却速率 100°C/min



技术原理

本测试系统采用非接触 MOS 激光技术;不但可以对薄膜的应力、表面曲率和翘曲进行精确的

测量,而且还可二维应力 Mapping 成像统计分析;同时可精确测量应力、曲率随温度变化的关系。

激光部分和检测器固定在同一框架上,这种设计始终保证所有阵列的激光光点始终在同一频率

运动或扫描,从而有效避免了外界振动对测试结果的影响;同时大大提高测试的分辨率;适合各种

材质和厚度薄膜应力分析。



技术参数

温度范围             -100~1200°C( 多种温度范围可选)


温度速率             加热 >10°C/秒

                     冷却

                     600°C,zui高 50°C/分钟

                     400°C 到室温, zui高 5°C/分钟 (可扩展更快的升温和降温速率)

温度均匀性           ± 2 °C

温度稳定性           ± 1 %

平均倾斜重复性       < 1μrad

平均曲率重复性       < 2×10E -5 1/m

应力测量范围         几十 KPa ~ 几十 GPa

空间扫描分辨率       高达 1μm

(用户可调) 

曲率分辨率           室温 100Km,高温 20Km

实时热应力测量分析   30 点/秒

真空腔室真空度       10 mTorr

测量基片尺寸 标配    200mm(100mm 和 300mm 可选)



应用

本测试系统现在用于科研或者生产企业中薄膜原位应力监测和控制。

应用于金属薄膜,介电薄膜、滤光片膜、平板玻璃、300mm 半导体集成电路板、薄膜电池、

MBE 和 MOCVD 薄膜制备和退火过程的热应力监控等领域。

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