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当前位置：广州竞赢科学仪器有限公司>>真空溅射蒸度用品>>离子溅射仪>> 208HR离子溅射仪
208HR离子溅射仪主要特性：
·可选择多种镀膜材料
·精确的膜厚控制
·样品台控制灵活：可对样品台进行独立的旋转、行星式转动、倾斜控制，保证形貌差异大的样品也能得到*的镀膜效果。
·多个样品座：提供4个样品座，每个样品座直径32mm，可装载多达6个小样品座。
·样品室几何可变： 样品室几何用于调节镀膜的速率（1.0nm/s ～ 0.002nm/s）
·宽范围的操作压力：独立的功率和压力调节，氩气的压力大小范围为0.2 - 0.005 mbar。
·紧凑、现代的桌上型设计
·操作容易
208HR离子溅射仪技术参数：
溅射系统 | ||
镀膜头 | 低电压平面磁控管 靶材更换快速 环绕暗区护罩 靶材调节遮挡 | |
靶材 | Cr, Pt/Pd (标配) | |
镀膜控制 | 微处理器控制 安全互锁 电流控制与真空度无关 数字化可选电流（20，40，60 和 80mA） | |
样品室大小 | 直径150mm | |
样品台 | 非重复的旋转、行星式转动，并可手动倾斜0-90° | |
模拟计量 | 真空 Atm - .001mb | |
控制方法 | 自动气体净化和泄气功能 自动处理排序 带有“暂停”功能的数字计时器 自动放气 | |
膜厚控制 | MTM-20高分辨膜厚控制仪 | |
真空系统 | ||
结构 | 分子涡轮牵引泵和旋叶泵组合， 代替旋叶泵的无油涡旋式真空泵（选配） | |
抽真空速度 | 0.1mb 下300 l/min | |
抽真空时间 | 1 mbar *限真空 | 1 x 10-5mbar |
桌上型系统 | 旋叶泵置于抗震台上，全金属真空耦合系统 | |
膜厚测控仪 | ||
MTM-20 | 基于微处理器，4位数字显示，复位按钮， 6MHz晶体（具有寿命检查功能），5次/s的更新速率 | |
膜厚范围 | 0.0 - 999.9nm | |
分辨率 | 优于 0.1nm | |
密度范围 | 0.50 - 30.00gm/cm3 | |
修正系数范围 | 0.25 - 8.00 | |
镀膜终止范围 | 膜厚0 - 999.9nm | |
系统要求 | ||
电气 | 100-120 或 200-240VAC, 50/60Hz | |
功率 | 550VA（zui大） | |
氩气 | zui小纯度99.995% | |
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