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倾斜旋转样品杯
针对放样或制样时,小特征点无法被看到的问题。
倾斜的优势
三维测量
3D结构成图
孔
多层结构
边缘
旋转的优势
沿X或Y轴排列特征点信息
可以对样品的每一个面进行成像
规格
倾斜范围: -10° ~ + 45° (步长0.2°)
旋转角: 360°连续旋转 (步长0.2°)
zui大试样直径: 12 mm
zui大试样高度: 5 mm
zui大重量: 60 g
真空度: 高真空
通过 Pro Suite 应用来专门控制
Compucentric 旋转
Pseudo-eucentric 倾斜
倾斜自动对焦
用坐标和图像来保存当前样品台位置
X 和 Y 轴排列
Compucentric 旋转
旋转一个不在中心位置的特征点时需要三轴联动。有了软件上的这个功能以后,旋转时会自动运动。
Pseudo-eucentric倾斜
倾斜特征点会引起工作距离和Y轴位置的变化。本功能自动矫正Y轴位置。
跟踪对焦
倾斜特征点时会引起工作距离的变化和物理上的Y轴方向的位置。跟踪对焦功能自动矫正Z轴方向的焦距。
X和Y轴对齐
仅两点点击即可帮助实现对齐X和Y方向的特征。
样品台和坐标
设置样品坐标。
由于具备自动样品操作能力,可以直观方便地对于任何样品的任何特征成像。
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