飞纳台式扫描电镜大样品室版 Phenom XL批发 返回列表页

1、 Phenom XL 成为台式扫描电镜中腔室zui大的，电镜腔室由原来的 32mm 扩容为 100mm x 100mm，一次可容纳至多 36 个 1/2 英寸样品台，测样效率进一步提高。自动马达样品台的移动范围为 X = 50mm，Y = 50mm（可选配X=100 mm,Y=100 mm）

Phenom XL 的样品台

2、Phenom XL 提供高、中、低三级真空，可以选配二次电子探测器

3、背散射电子探头性能依然优异，背散射电子信号强度跟样品成分衬度有关，可以和能谱良好结合起来

背散射 1000X

（背散射电子数量与元素的原子序数成正比，元素的原子序数越高，背散射电子数量越多，该元素在图像中的表现越亮）

样品未喷金，采用背散射电子成像，更高倍数下清晰看到多种成分衬度，沿着箭头方向从内到外可以看到 4 种不同的成分衬度，且分界线非常明显。代表这 4 个位置元素含量各不相同，并且沿着箭头方向，重元素占比越来越低。

4、低电压下成像优势明显，低电压模式下，可以减少对样品的损伤，穿透，能观察到样品表面更真实的形貌

二次电子 5kV, 5000X

二次电子 5kV, 5000X

二次电子 5kV, 10000X

二次电子 5kV, 15000X

5、可拓展拉伸台，压力台，大角度倾斜台，高低温样品台等功能性选件

6、Phenom XL 可选配所有的拓展功能软件选件，如 3D 粗糙度重建系统，纤维统计分析测量系统，孔径统计分析测量系统等

Phenom XL 详细技术参数：

• 温度：操作环境 15℃ - 30℃

• 湿度：<80%RH

• 光学放大倍率：3-16 倍

• 电子放大倍率：zui高 100,000 倍

• 电子光学分辨率：≤14nm

• 光学照明：光学 CCD

• 电子光学照明：CeB6 灯丝

• 电子枪灯丝寿命：优于 1500 小时（单根灯丝，电脑有灯丝使用时间计数功能） 

• 电子枪加速电压： 5kV-20kV 连续可调

• 电子枪灯丝更换对中方式：软件自动对中

• 电子光学探测器类型：高灵敏四分割背散射电子探测器，可同时显示成分和形貌信息；二次电子探测器选配

• X 射线能谱探测器类型：硅漂移（SＤＤ）探测器类型，可实现微区定向分析，即点击感兴趣的部位，即可完成该点的元素定性定量分析

• 能谱探测器冷却方式：无液氮消耗，采用半导体 Peltier 效应制冷

• 元素探测范围：Boron（5）- Americium（95）

• 能谱探测器能量分辨率：<137eV（Mn Kα)

• 集成能谱 EDS（能谱探头集成在电镜主机内）

• 真空系统：低噪音无油隔膜泵，涡轮分子泵

• 样品台移动方式：软件控制的马达驱动，通过鼠标点击目标区域后，样品台自动移动至目标区域画面居中，可实现电镜图像即点即得功能

• 软件平台：不易受病毒影响的 linux 系统，支持 U 盘及网络存储图像

• 网络远程检测功能：可通过互联网远程控制及监测仪器

• 图像观测导航界面：彩色光学全景导航和电子图像局部导航同时显示

• 图像格式：jpg，tiff，bmp

• 图像分辨率： 456x456；684x684；1024x1024；2048x2048

• 自动图像调整功能：自动对焦、自动调节对比度和亮度

• 观察模式： 标准模式、降低荷电效应模式

• 图像显示模式：全面模式(形貌和成份)、形貌模式 A（3D）、形貌模式 B（3D）

• 全景图像拼合功能：可自动连续扫描大小区域，每分钟可采集超过 100 张 1024x1024 分辨率的图像，zui大分辨率达 1 亿像素，所的图像自动拼合为一副全景图像

• 能谱拟合功能：可自动或手动进行元素谱峰识别，并可利用可视化峰剥离技术验证重叠峰识别的正确性