Auto 色新型相调制椭圆偏振光谱仪 返回列表页

概要

Auto 色是一种新型的按键式全自动薄膜测量分析工具，简单的几个按键操作，即可完成全自动测量和分析。

几秒钟可完成样品分析，并提供完整的样品堆叠特性报告-包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性。

Auto 色 是一种高性能系统，它包括XYZ自动样品台、测量点实时成像和光斑尺寸自动选择功能，其各种各样的附件可满足用户对多种应用的需求。

Auto 色借助完整的操作向导，自动检测并诊断问题、同时提供完整的操作指南，实现对故障进行轻松处理。

便捷的操作性能和大量自动化特性，使得 Auto 色 成为一种可用于常规薄膜测量和质量控制的设备。

特征

• 薄膜分析变得轻松简单
• 高性能系统
• *的光斑可视系统（技术）
• 多种附件选择
• 智能诊断

Auto 色的可视化系统

Auto 色 集成了*的MyAutoView光斑可视系统（技术），该系统配备在标准椭圆偏振光谱仪中。

MyAutoView允许操作者全程观测样品光斑，以确保各种类型的样品都能在*正确的位置，以合适的光斑尺寸进行测量。

Auto 色 所提供的图像有大约1毫米的视场和10微米的分辨率,这对于大多数测量来说是非常必要的。

技术参数：

光谱范围：440-858nm 

光斑尺寸： 500 µm x 750 µm; 500 µm x 500 µm; 250 µm x 500 µm; 250 µm x 250 µm; 70 µm x 250 µm; 100 µm x 100 µm; 50 µm x 60 µm; 25 µm x 60 µm 

测试时间：通常为5秒，可小于1秒
 
准确度：NIST 1000 Å SiO2 /Si: d ± 4 Å - n（632.8 nm） ± 0.002， Fu色d silica: n ± 0.004 

观测样品： CCD-视场范围1.33*1mm，分辨率1µm 

重复性：± 0.2 Å  （测试条件 NIST 150 Å SiO2 /Si ）

样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自动调节；真空检测；Z轴高度50mm 

探测器：CCD-分辨率：2nm

测角仪：固定在70度，可预设为66度或者61.5度