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当前位置：孚光精仪（中国）有限公司>>分析仪器>>电镜样品制备仪器>> FPTOR-TT-DSR台式溅射镀膜仪
台式溅射镀膜仪又叫喷金仪,Sputter Coater,能够均匀地涂覆非导电或导电不良导电试样上的金（Au），银（Ag），钯（Pa）和铂（Pt）薄膜等贵金属,是进口溅射镀膜仪品牌中溅射镀膜仪价格适中的喷金仪。
台式溅射镀膜仪良好设计使用户能够轻松地装载和卸载样品并快速更换目标。
和喷金仪特征
贵金属涂层，如金（Au），银（Ag）等
触摸屏和彩色显示屏
能够绘制溅射参数图
包括用于图形，数据提取和软件更新的USB端口
厚度监测系统，用于测量涂层过程中的厚度
两级，直驱170 L / m，旋片泵
150 mm外径x 150 mm Pyrex气缸室
0-100 mA开关电源
极限真空：小于30毫托
气体：氩气 - 99.999％（调节至2-5psig）;*但不需要
手动或自动定时和厚度溅射
控制溅射速度，达到更精细的晶粒结构
高精度石英晶体厚度监视器
在溅射过程中保护样品免受加热
关闭时系统自动通风。氮气排放气（可选）
独立于压力自动控制溅射功率
自动控制阴极的温度，以保护磁体的使用寿命
使用全自动触摸屏控制快速输入数据
精密计量阀为了控制真空压力
绘制压力，厚度和电流曲线
将曲线和溅射过程数据通过USB端口传输到PC
ISO 9001：2008，CE认证
和喷金仪技术规格
| 热电偶规 | 0.001-1mbar |
| 磁控溅射阴极 | 2英寸 |
| 微控制器 | 用于自动编程过程 |
| 触摸屏监视器7“ | 编程，处理，参数说明 |
| 真空室 | 派雷克斯室7英寸 |
| 目标 | 0.15毫米金 |
| 水晶厚度计头 | 石英晶体保持性 |
| 薄膜厚度监视器 | 程序能力和1nm进动 |
| 样品架 | SEM样品架标准（电动） |
| 旋转叶片泵 | 14m3 /小时。 2级油封 |
| 快门 | 电子快门 |
| 计量阀 | 细针 |
| 自动排气阀 | 1/4“电动 |
| 主体 | 金属立方体300x500x500 mm |
| 外形尺寸 | 450mm H×500mm宽×370mm D |
| 装运重量 | 18千克（不含真空泵）34千克泵 |
| 直流电源 | 0-100 mA |
| 功率 | 220V-50Hz-6A |
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