当前位置:孚光精仪(中国)有限公司>>光学精密仪器>>等离子物理>> NEO-ThermalProbe等离子体主动热探头
等离子体主动热探头是耐高温的等离子探头,用于高温等离子体过程中流入到目标表面的能量,也可作为离子流探头使用。由于等离子体主动热探头的灵敏度非常高,特别适合用于工业生产过程或研究中的有效质量控制。有一个特殊的版本,该版本有一个更多可选的可调参数,可以用来解决等离子体工艺的研发。
特点
在生产高品质涂层或研究材料属性过程中,对等离子体工艺的表征,控制和监测是至关重要的。
zui重要的一个参数是通到基底的实际能量流入和总能量流入—主动热探头是测量这个决定性的量数的工具。
增殖的粒子影响基底的表面工艺和反应。
这种能量与其他如热辐射能或化学能合成总流入能量。
主动热探头连续定向测量流入的能量,保持层和表面性质很好的相关性。
产品概述
适用于真空
耐温高达450°C
能量流入可多达(2±0,001)W/cm2 可衡量
可变长度和几何图形
包括系统控制和评估的软件包
提供安装服务和流程优化咨询
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