小型单轴压电驱动器 返回列表页

这款单轴压电驱动器,Piezo Actuator是为压电扫描定位设计的压电促动器,广泛用于扫描探针显微镜压电驱动原子力显微镜压电驱动和微纳操作,非常在开放和闭环系统中的光学元件压电驱动和扫描探针压电驱动应用。
单轴压电驱动器,Piezo Actuator活动的中心部件挂在柔性弹簧上，由压电驱动器驱动，确保了应用的高刚度和高稳定性。单轴压电驱动器,Piezo Actuator的设计为运动提供了的线性和平整度，与经典的采用压电陶瓷管的压电扫描台相比，单轴压电驱动器,Piezo Actuator可提供球形扫描面并具有更高机械强度。
单轴压电驱动器,Piezo Actuator配备了电容位移传感器，包括在数字反馈链系统内，进行数字闭环控制。它提供了高精度和线性运动，消除了对压电陶瓷的蠕变效应。测量电容传感器的TDC芯片（时间数字转换器），安装柱离传感器zui近的位置，发出电子信号与测量得的电容成正比。这样可以将外部噪音的影响降至zui低，还可以使用长电缆连接到控制器。
单轴压电驱动器,Piezo Actuator特点
双电容传感器反馈技术
低频噪声电阻
补偿压电陶瓷的蠕变效应
水平方向上扫描位移行程120µM
超高分辨率，为0.1nm
低成本
设计紧凑，重量轻，刚度高
是显微镜应用的理想单轴压电驱动器,Piezo Actuator
通用性强
具有单轴压电驱动器,Piezo Actuator型号

单轴压电驱动器,Piezo Actuator应用
扫描探针显微镜
原子力显微镜
纳米定位
计量学应用
生物学研究
电子学应用
微操作等。
单轴压电驱动器,Piezo Actuator可使用通用控制器8NSC-3000 和8NSC-1000，或是NSpec软件控制驱动8单轴压电驱动器,Piezo Actuator。

单轴压电驱动器,Piezo Actuator产品规格
 运动特性
   主动轴       Z
    Z轴运动距离, µm        120
   分辨率（闭环）nm               1
   分辨率（开环）,nm             0.1
 整范围内的角度倾斜，°             ＜0.01
 zui大扫描速度， Hz        10
 控制性能
 电容量，PF                            20
机械性能
    谐振频率的Z， kHz        3
    负载容量, g        100
     操作温度范围，°C        - 40…80
    尺寸，mm        30 x 30 x 22
     材料                        铝