当前位置:深圳市科晶智达科技有限公司>>实验设备>>实验设备(按工艺分)>> MSK-DM-L1CHMSK-DM-L1CH 单通道液体分配机
OTF-1200X-4- C4LVS 1200℃双管滑动式四通道混气C
OTF-1200X-5-III-F3LV 带滑动法兰三温区CVD系统
功能特点 |
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技术参数 | ||||
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电源 | 单相 AC110-220V±10%,频率 50Hz/60Hz.,功率 120W | |||
原液罐 | 250ml透明玻璃瓶 | |||
注液泵 | 标配1个蠕动泵,单次注液量最小0.01mL,注液精度参考下表(介质:去离子水;注液管:内径0.8mm透明硅胶管;注液针:内径0.5mm;蠕动泵转速8圈/s); | |||
注液量 | 0.1ml | 1ml | 10ml | |
误差值 | ≤±7ul | ≤±14ul | ≤±0.1ml | |
精度误差 | ≤±7% | ≤±1.5% | ≤±1% | |
注液高度 | 50-170mm可调 | |||
设备节拍 | 约400通道/8h,视加料量及精度决定 | |||
设备尺寸 | 约L365mm*W180mm*H220mm | |||
重量 | 约5kg |
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