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在线质谱气体分析系统

BSD-MASS 在线质谱气体分析系统（美国英福康 INFICON）
Oline Mass spectrometer Gas Analyzer

四极杆质谱：德国英福康（INFICON）在线质谱（原产地：美国，提供原产地证明和原厂校验证书）；

质谱检测器：法拉第杯Faraday Cup (FC)和电子倍增器Electron Multiplier (EM)；

质量数：默认1-100amu；选配1-200amu或1-300amu；

灯丝：镀铱灯丝，2套，一用一备，软件切换；

采样压力：默认100±10kpa，其它采样压力需定制；

气体采样流量：默认5SCCM，低可至0.2SCCM的超微采样量；

响应速度：可在低至＜5SCCM的微流量采样量下，仍然保持超快速的响应，响应时间＜1秒；（脱离采样量的响应时间没有价值）

分辨率：＜0.5ppm（40amu）；

扫描速度：高可达1.8毫秒/amu；

涡轮分子泵：爱德华，抽速85L/s，极限真空1*10E-12mbar；

干泵：涡旋干泵，抽速20L/S，极限真空1*10E-1mbar；

分流系统：具有，高精度分流系统是快速灵敏响应速度的保证。

质谱腔体加热烘烤：具有，烘烤温度150℃；

其它功能：

零焊缝超高真空质谱腔体技术（将传统的4焊缝降低到0焊缝）；

分子泵高真空大流导MAX接口技术（将流导面积增加3倍以上，流导长度缩短5倍以上），从而获得极限灵敏度；

分子泵电流电压监测，质谱腔体温度监测；

采样管线防蒸汽凝结技术；采样口防堵技术；

从左至右：英福康中国华北区经理，贝士德仪器总工，英福康美国工厂传感器部门经理、质谱部门经理

 技术交流

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