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Nanocalc系列膜厚测量仪的原理:
利用白光干涉测量法的原理,NanoCalc-2000用一个宽光谱的光源来测得不同波长的反射数据,由于反射率n和消光系数k随膜厚的不同而变化,NanoCalc-2000根据这一特性来进行曲线拟合从而求得膜厚。在NanoCalc-2000中,不同类型材料的相应参数通过不同的模型来描述,从而保证了不同类型材料膜厚测量的准确性。
Nanocalc系列膜厚测量仪的特点:
NanoCalc-2000-UV/VIS/NIR膜厚测量仪的技术参数:
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