光谱椭偏仪 返回列表页

      SE-VM是一款高精度快速测量光谱椭偏仪。可实现科研/企业级高精度快速光谱椭偏测量，支持多角度，微光斑，可视化调平系统等高兼容性灵活配置，多功能模块定制化设计。

一、概述

      SE-VM 是一款超高精度快速测量光谱仪，其采用行业的椭偏创新技术，具备 1 双旋转补偿器同步控制技术，2 透明基底消背反技术 等技术。快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析，适用于薄膜材料的快速测量表征。支持多角度，微光斑，可视化调平系统等高兼容性灵活配置，多功能模块定制化设计。

1.高精度椭偏测量解决方案；

2.超高精度、快速无损测量；

3. 支持多角度、微光斑、可视化调平系统功能模块灵活定制；

4.  丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力。

二、光谱椭偏仪产品特点

      1.采用高性能进口复合光源，光谱覆盖可见到近红外范围 (380-1000nm)，可支持扩展紫外到近红外范围 (193-2500nm)

2.  高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集；

3. 支持系列配置灵活，可根据不同应用场景支持多功能模块化定制；

4. 数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料；

三、产品应用

       广泛应用于镀膜工艺控制、tooling校正等测量应用,实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析。