非接触厚度电阻率测试仪型号:JXNRT1
测试原理
1、 原理
电阻率测试模块是由一对共轴涡流传感器,以及后续的处理电路组成。将半导体硅片置于两个探头的间隙中时,在电磁场的作用下,半导体硅片中会产生涡流效应,通过检测涡流效应的大小,可以换算出该硅片的电阻率和方块电阻。本方法是一种非接触无损测量的方法,不损伤材料表面,可以在大多数场合有效替代四探针法测试电阻率以及方块电阻。
非接触厚度电阻率测试仪 型号:JXNRT1
一、测试原理
1、 原理
电阻率测试模块是由一对共轴涡流传感器,以及后续的处理电路组成。将半导体硅片置于两个探头的间隙中时,在电磁场的作用下,半导体硅片中会产生涡流效应,通过检测涡流效应的大小,可以换算出该硅片的电阻率和方块电阻。本方法是一种非接触无损测量的方法,不损伤材料表面,可以在大多数场合有效替代四探针法测试电阻率以及方块电阻。
非接触厚度电阻率测试仪 2、厚度测试探头原理
厚度探头采用的是一对共轴电容位移传感器。电容传感器具有重复性好,测试数值稳定,技术成熟等优点,广泛用于各种材料厚度的测试。
二、适用范围
本设备为非接触无损测量设备,测试过程中对硅片表面以及内部不会造成损伤。特别适用于代替四探针法用于半导体硅片成品分选检验。一台仪器可以同时对厚度和电阻率两个指标进行测试分选,减少了测试工序和测试时间,提高了测试效率。
典型的客户:科研单位、硅片生产厂商、半导体器件生产厂商、光伏企业、导电薄膜生产企业。
三、仪器构成
1、测试主机:1 台
2、电源线:1 根
3、串口数据线:1 根
4、电脑端软件:1 套
5、塑料定位柱:2 个
四、仪器外观尺寸结构及图片
1、整机尺寸:340*260*180mm
2、机箱颜色:电脑白
3、仪器结构:本仪器采用厚度探头和电阻率探头前后并列安装的方式。
五、仪器主要指标
1、电气规格
a. 使用标准三插头,由 220V 交流电供电,整机功耗小于 15 瓦。
b. 本仪器测试平台和外壳均为金属材料,按照安全规范,请确保电源地线正确连接。
2、测试范围
测试样品要求:厚度小于 600um 的半导体硅片以及其他类似材料。(为客户提供特殊定制,厚度大的测试范围可以扩展到 800um)
电阻率范围: L 档: 0.2-5 Ω·cm
H 档: 5-50 Ω·cm
注: 电阻率不在上述量程范围内的可以按要求调整, 调整的范围可以在0.001-100Ω*cm。
厚度范围: 100-600 um (定制版可以做到 300-800um) 注:普通版本厚度大于 700um 的硅片无法放入测试区域。
 | 产品名称:化工原料水分仪 化工原料水份仪 产品型号:FD-C1 |
化工原料水分仪 化工原料水份仪 型号: FD-C1 本水分仪是引进*传感器在国内推出的高性能、数字化水分测量仪器。仪器采用高周波原理,数字显示,传感器与主体合为一体,设有多个档位用来测量各类碱活性染料、化学矿物原料、有机、无机化工原料、原油、重油、染料、树脂、洗衣粉、金属皂、助剂、溶液、奶粉、添加剂、、煤炭、化肥、中西药等粉状、颗粒状、液体状水分。该仪器测量水分范围宽、精度高、显示清晰、测量迅速、性能稳定、指标可靠,而且体积小、重量轻,可随身携带在现场快速检测,使用简单方便。是化工行业检测其产品水分的理想仪器。 主要特点 1、引进*传感器,进口芯片。 2、*的传感器设计及制作方法有出一般的穿透能力。 3、专有的传感器技术较宽的工作范围,可插入测量,快速显示。 4、性能稳定、品质优良。 5、便携式仪表外壳为专有设计。 6、仪表设计精巧、结构紧凑。
技术性能
1、测量水分范围:0~80% 2、使用环境:-5℃~+50℃ 3、精 度: 0%~1% 精度:±0.01% ; 1%~5% 精度:±0.1% ; 5%~20% 精度:±0.5% ; 20%~40% 精度:±1% ; 40%~80% 精度:±2%
4、响应时间:1秒 5、显 示:3½位LCD液晶数字显示 6、探针长度:200mm 7、电源:9V(6F22型)积层电池一节 8、体 积:160×60×27(mm) 9、重 量:200克
有1和2两个档位,1档测量范围是 0%~1%,2档1%以上
选型:C1 测固体 C2 测液体 |