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当前位置:北京天裕德科技有限公司>> TYD-E1TYD-E1型多角度激光椭偏仪

TYD-E1型多角度激光椭偏仪

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参  考  价:面议
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号:TYD-E1
  • 品牌:
  • 产品类别:轮廓仪|表面测量仪器
  • 所在地:
  • 信息完整度:
  • 样本:
  • 更新时间:2023-09-26 10:25:03
  • 浏览次数:8
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  • 经营模式:生产厂家
  • 商铺产品:157条
  • 所在地区:北京北京市
  • 注册时间:2020-12-30
  • 最近登录:2020-12-30
  • 联系人:宋凯 (销售负责人)
产品简介

多角度激光椭偏仪使用632.8nm波长HeNe激光器,对测量薄膜厚度,折射率和吸收系数有非常出色的精度。仪器能够分析单层膜,多层膜和大块材料(基底)。

详情介绍
  1、超高精度和稳定性,,来源于高稳定激光光源、温度稳定补偿器设置、起偏器跟踪和超低噪声探测器。
  2、高精度样品校准,使用光学自动对准镜和显微镜。
  3、快速简易测量,可选择不同的应用模型和入射角度。
  4、多角度测量,可支持复杂应用和精确厚度。
  5、全面预设应用,包含微电子、光电、磁存储、生命科学等领域。
全面预设应用,包含微电子、光电、磁存储、生命科学等领域。
  1、波长:632.8nm氦氖激光器。
  2、长期稳定性:d(y)=±0.01°;d(D)=±0.1°。
  3、折射率测量精度:5×10^-4for 100nm SiO2 on Si。
  4、弱吸光性薄膜厚度范围(多晶硅):2μm。
  5、测量时间:120ms~1.5s(决定于测量方式)。
  6、入射角:手动角度计40°~90°,步进值5°。
  7、选项:360°旋转单元;真空吸盘;x-y地形图扫描载物台。
  8、90°位置时y,D精度:d(y)=±0.002°;d(D)=±0.002°。
  9、膜厚测量精度:0.1Å for 100nm SiO2 on Si。
  10、透明薄膜的厚度范围:4μm。
  11、膜层数量默认:在基底或多层膜上的1-3层膜。
  12、激光束直径:1mm。
  13、样品载物台:可调节高度和角度的样品台,150mm直径。
  14、设置:高稳定性补偿器,可得到0°和180°附近D的高精确度电脑控制的起偏器,定位/探测,自动校准高稳定旋转分析器。
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