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RGA残余气体分析仪（四极质谱仪）
Transpector 2 的特点 |
-100，200，和300amu系统带法拉第杯或电子倍增器/法拉第杯的组合。 |
·改进的氢检测。 |
·与原始的Transpector相比讯噪比提高10倍 |
·快速扫描低值讯号 |
·个量级的电子学动态量程 |
·用于单传感器和多传感器系统的软件选件 |
·分压测量从1×10-4乇至2×10-14乇 |
Transpector 2 是基于四极场的智能传感器，全部传感器电子驱动加上微处理器安装在一个附在传感器上的小型、轻便的密闭匣内。由于它是智能的传感器，具有相当的灵活性，您可以使用当前的计算机或从INFICON选购PC和软件包。两种通讯链接，RS232用于单传感器，RS485用于多传感器配置，将Transpector2 连接控制计算机。简单的指令协议支配全部Transpector功能。 |
RGA残余气体分析仪（四极质谱仪）
RGA 应用（主要用途）
* 检漏
* 真空设备本底状况鉴定
* 在线工艺气体监测分析
* 检漏
- 真空系统泄漏（内漏,外漏）
- 可设置报警点,实现报警功能
- 与氦质谱检漏仪的区别:
| RGA | 氦质谱检漏仪 |
示漏气体 | 氦气或其他任何示漏气体 | 氦气 |
可检漏类型 | 内漏,外漏 | 外漏 |
显示 | TWare32软件检漏模式/监控模式 （离子流/分压强） | 显示面板（漏率） |
* 真空系统本底状态鉴定
在系统达到极限真空时测定残余气体的种类和量值
* 真空系统污染监测和控制
清洗介质残留,返油（碳氢化合物）,表面放气（空气, H2O, O2, CO, CO2）
通过软件中的标准气体库,可确定气体成分.
* 真空工艺监控
- 在线监控:实时反映工艺异常或偏差
- 数据按时间自动存储（SOD文件）以便
日后追溯进行工艺分析
- 继电器输出可用于控制阀门
- 模拟输出可连线PLC
* 镀膜工艺研究开发
各种工艺气体的相对比例对工艺/产品的影响
RGA的选用 - 为您的镀膜机选择合适的RGA
* 小可检分压强（MDPP）
法拉第杯（FC）: 3 x 10-13 Torr
电子倍增器（EM）+法拉第杯（FC）:10-14~10-15 Torr
* 质量数（AMU）
取决于需要探测的气体
100AMU传感器 探测范围: 1-100AMU
200AMU传感器 探测范围: 1-200AMU
300AMU传感器 探测范围: 1-300AMU
绝大多数工业应用仅需100AMU传感器
* 工作压强范围
- 标准RGA: < 5 x 10-4 Torr
- 高压强型XPR3: < 1 x 10-2 Torr
- 若需在更高压强下工作, 须使用取样系统（IPC400）
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