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GE50A弹性密封数字流量控制器

新款弹性密封数字流量控制器

GE50A是一种通用的、弹性密封质量流量计，适用于需要5sccm-50slm（N₂当量）流量控制的各种应用场合；其采用了的数字流量控制电子设备，以及拥有成熟的，获得的热传感器和机械设计。

GE50A数控质量流量计有两种I/O选择：数字或模拟。数控电子部分采用的的MKS控制算法，在贯穿整个控制范围内，对设点提供快速，可重复的响应。标准响应时间为500毫秒。GE50A还包括一个数字校准，可对校准气体产生不超过1％的设点精度。可以轻松取代相同I / O类型的1179A系列流量计。

GE50A采用的是在5sccm到50slm流速范围内MFC常用的标准3英寸机体，使得对它的使用不需要修改现有行气配置。 在设计上还采用了极少使用的弹性体，只有一个外部弹性体密封件和弹性体阀芯，其他所有湿润表面都是金属材质。GE50A标配Viton®材质密封以及可供选择的橡胶和氯丁橡胶，允许使用不同气体的设备从中找到选择。

新款弹性密封数字流量控制器

特点和长处：

◇ 拥有设计的热传感器，提供了超卓的零点稳定性。

◇ 校准气体1%的设点精度，实现了准确的过程控制。

◇ 嵌入式用户界面提供了以下两项功能：

-轻松改变设备的范围和降低用气库存要求

-监控设备的功能，现场收集性能数据

◇ 兼容的模拟和数字（RS485，DeviceNet，PROFIBUS®）I / O，可以取代对应的1179A

◇ CE标志，符合RoHS - 欧盟会议要求

美国编号：5461913.