Aera FC-7700质量流量控制器 返回列表页

优势

• 快速响应——设置点之间的流量沉淀时间不到2秒

• 无可伦比的可靠性——一年零漂移不到满标度流量的0.5%

• 易于整合——标准连接器和尺寸

• 出众的效果——优良薄膜特性

性价比高

  FC-7700系列产品专为那些要求超卓性能，但不要求具有耐腐蚀性或超高漏率要求的应用而定制，不仅性价比好，而且控制精度非常高。

响应速度快

  FC-7700系列产品采用技术设计，工作性能远远优于同类质量流量控制器MFC.其*之处包括：采用了一种敏感性强、响应速度快的小直径传感器。另外，与采用低速热敏阀的同类产品相比，FC-7700系列产品采用常开或常闭式电磁阀，具有较快的响应速度。提高响应速度之后，避免了出现过冲，达到设定点的时间不到2秒--在所有带标准电磁阀的质量流量控制器产品中是较快的。

无可伦比的可靠性

   由高质量的电子组件和采用耐用、较少元器件的设计理念，这使它可以经受强射频场的干扰，满足其它运转要求，并具有同类产品中上佳的零点漂移稳定性--使用超过一年，零点漂移不到满量程的0.5%。在投入使用的25，000件以上产品中，仅有不到0.5%的产品在出货一年内返修。

易于集成

    替换其它品牌，即可轻松获得Area质量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的优势，且不会遇到安装方面的麻烦。特定型号的产品带有标准电气接头并具有临界尺寸，可轻松装入现有的系统。

出从的效果

  FC-7700系列质量流量控制器带给您的不仅仅是薄膜和刻蚀工艺的*性，同时还有高度的可重复性

类别

FC-7700、7700C、7700CD、7700CU

FC-7710、7710C、7710CD、7710CU

FC-7720、7720C、7720CD

满量程范围

10sccm到5slm

6到20slm

35到150slm

20到50slm

响应时间

到达设定点±2%所需时间<2秒

到达设定点±2%所需时间<3秒

精度

满量程±1%范围内

满量程±2%范围内

线性度

满量程±0.5%范围内

满量程±0.5%范围内

满量程±1%范围内

满量程±1%范围内

重复精度

满量程±0.2%范围内

漏率

大值1×10-6 atm-cc/秒（氦）

控制范围

满量程的5到100%

压差

7至40 psi

10至40 psi（517至2069托）

21至40 psi（1086至2069托）

（362至2069托）

14至40 psi（724至2069托）

正常工作压力

50 psi（2586托）

大入口压力

大值150 psi（7740托）

温度范围

5至45℃