Suragus Eddy-Cus TF LAB2020​

德国Suragus专门为非破坏性材料测试提供解决方案。Suragus Eddy-Cus TF LAB2020使用涡电流检测技术，适用于半导体制程之晶圆金属层厚度、电阻值（Sheet resistance）、导电率量测，不同频率的sensor搭配，提供更宽广的金属厚度量测范围。产品种类包括便携式手持设备，手动及半自动桌上型设备，以及结合自动化作在线实时检测之方案。

Suragus Eddy-Cus TF LAB2020金属层量测应用

沉积（CVD，PVD，电镀...）
晶圆蚀刻、抛光、（去）氧化

设备特性：

• 非接触实时量测，不损伤产品表面。
• 量测结果可输出高分辨率之图档以分析金属层均匀度。
• 可以执行产品金属层的电阻值单点测量或mapping。
• 不受接触面电阻影响，提供高精度的测量。
• 测量方式稳定，高重复性测量。
• 可做极薄金属层之测量2nm~2mm。
• 软件提供简易之操作接口及数据分析功能。
• 可结合在线量测（In-line）。