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当前位置：北京品智创思精密仪器有限公司>>微波化学反应器>>专用影像测量仪>> PZ-3020CNC全自动线宽影像测试仪
全自动线宽影像测试仪产品特点
具有快速对焦、自动寻边、强大的编程和自动测量功能
采用亚像素细分技术，提高图像边界分辨能力
操纵杆/鼠标操作，方便易用
程控恒流驱动式八区表面冷光源，可适应复杂的工件测量
激光指示器指示测量位置，方便快速定位
在线SPC数据处理分析，大批量治具测量功能
三轴伺服控制，定位精度高速度快，XY速度可达150mm/s，运行平稳
嵌入式模块控制系统，将复杂的控制系统集成在仪器内部，稳定性更高
采用花岗石底座，性能稳定，不易变形
配MCP简易测头，可做简单三维测量
全自动线宽影像测试仪规格参数
仪器型号 | PZ-3020C | ||
工作台 | 玻璃台尺寸（mm） | 506*356 | |
运动行程（mm） | 300*200 | ||
仪器重量（kg） | 200 | ||
外形尺寸（mm） | 800*590*1620 | ||
Z轴升降行程 | 200 mm | ||
X、Y、Z数显分辨力 | 0.5μm | ||
工作距离 | 92 mm | ||
X、Y坐标示值误差 | (2.5+L/100) μm (L为被测长度，单位：mm) | ||
影 像 系 统 | 摄像机 | 高清晰工业级CCD彩色摄像机 | |
变倍镜头倍率 | 0.7X—4.5X | ||
物方视场 | 8.1mm～1.3mm | ||
视频倍率 | 20~128X | ||
光源系统 | 表面光源与透射光源均用LED，亮度可调 | ||
关键配置清单
序 号 | 名 称 | 规格品牌 | 数 量 | 单位 | 备 注 |
1 | 主机 | 工作台采用00级天然大理石 | 1 | 套 | 含光学玻璃 |
2 | 电脑 | 联想品牌电脑 | 1 | 台 | 含显示器，键盘，鼠标 |
3 | 软件 | INSPECT3D软件 | 1 | 套 | 含加密锁，光盘，说明书 |
4 | 运动控制盒 | UWC3500 | 1 | 套 | 配操纵手柄 |
5 | 光栅尺 | 配全封闭玻璃光栅尺 | 3 | PCS |
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6 | 导轨 | Z轴配HIWIN高精度直线导轨 | 2 | 付 | 工作台配高精度V型导轨 |
7 | 丝杆 | 中国台湾TBI研磨级丝杆 | 3 | PCS |
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8 | 马达 | UWC伺服马达 | 3 | PCS |
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9 | 变倍镜头 | PMS手动变倍镜头 | 1 | PCS |
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10 | 摄像机 | 1/2" CCD相机 | 1 | PCS |
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11 | 表面光 | 八区程控光源 | 1 | PCS |
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12 | 校正片 | 公司定制 | 1 | PCS |
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`13 | 视频卡 | 中安视频卡 | 1 | PCS |
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