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薄膜纳米厚度测量仪
自动化薄膜厚度分布图案系统
依靠F54*的光谱测量系统,可以很简单快速地获得大直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台,可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度,测试非常快速,大约每秒能测试两点。系统中预设了许多极坐标形、方形和线性的图形模式,也可以编辑自己需要的测试点。只需掌握基本电脑技术便可在几分钟内建立自己需要的图形模式。
可测样品膜层
基本上所有光滑的。非金属的薄膜都可以测量。可测样品包括:
氧化硅 | 氮化硅 | 类金刚石DLC |
光刻胶 | 聚合物 | 聚亚酰胺 |
多晶硅 | 非晶硅 | 硅 |
薄膜纳米厚度测量仪
相关应用
半导体制造
• 光刻胶• 氧化物/氮化物/SOI• 晶圆研磨减薄/封装
液晶显示器
• 盒厚• 聚酰亚胺• ITO
光学镀膜
• 硬涂层• 抗反射涂层• 滤光片
微电子
• 光刻胶• 硅膜• 氧化铝/氧化锌薄膜滤镜
公司简介:
苏州英莳特仪器科技有限公司是一家专业的检测仪器供应商、服务商以及实验室整体检测方案配套销售的综合性公司,坐落于交通便利的江苏省昆山市,公司是由行业*人士创办并专注于代理国内外厂商仪器;针对手机玻璃、太阳能玻璃整体设备检测提供方案;针对界面化学表面处理及检测提供整套方案;针对材料成分分析及环保法律法规整体提供方法;努力构建整套实验室方案、耗材、培训、售后等一站式服务。
主营产品:红外光谱仪器、X荧光光谱仪器、GC-MS气相气质仪器、LC液相色谱仪器
主营业务:RoHS2.0实验室设计规划,前处理培训与讲解,设备采购等;
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