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沈阳科晶自动化设备有限公司
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产品简介
产品介绍
2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2主要适用于我公司制造的VTC-600-3HD三靶磁控溅射仪、VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪，该磁控溅射头可安装直径为2"的靶材，适用靶材种类较广，如金属靶材（如金、银、铜等材料）、绝缘靶材（如陶瓷靶材、氧化物靶材、聚四氟乙烯靶材等）、磁性靶材、非磁性靶材等。该磁控溅射头配装有环形NdFeB永磁体在溅射头上，以保证溅射镀膜的效率和薄膜在样品表面分布的均匀性。该磁控溅射头可与DC或RF电源配合使用来溅射不同种类的样品。
产品型号 | 2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2 |
主要特点 | 1、采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作。 2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均匀分布。 3、磁体表面涂有保护层，以防止冷却水的腐蚀，延长其使用寿命。 4、标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配。 5、安装采用标准真空接头，便于操作。 6、靶材更换较为简单，无需调整溅射头的高度。 |
技术参数 | 1、阳极护罩直径：Φ3.5" 2、所用靶材：直径2"（50.8mm），非磁性靶zui大厚度1/4"，磁性靶zui大厚度1/16" 3、磁铁：NdFeB稀土永磁体 4、靶材利用率：30% 5、所需功率：DCzui大1000W，RFzui大500W 6、溅射电流：zui大3A 7、溅射电压：100V-1000V 8、溅射时腔体真空度：5mtorr-100mtorr 9、溅射均匀性曲线： 10、水冷却：水管外径0.25"，流速0.8GPM，进水温度<20℃ |
产品规格 | |
可选配件 | 1、循环水冷机，流量为16L/min，水箱容积为6L。 2、同时购买300W射频发射器和2"磁控溅射头时，本司赠送1个高真空快速接头。接头内径为0.75"，可将溅射 头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1"，真空腔体的壁厚不得大于1"。 |
