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沈阳科晶自动化设备有限公司
初级会员·1年您现在的位置： 沈阳科晶自动化设备有限公司>>CVD及PECVD系统>> GSL-1700X-4-C2HV1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV
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- 沈阳市浑南新区学风路26-2-7号，精密仪器工业园
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- www.sykejing.com
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产品简介
产品介绍
产品型号 | 1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV |
主要特点 | 1、双层壳体，配有风冷系统，壳体温度<55℃。 2、采用高纯氧化铝纤维，有效减少热量损失。 3、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高加热效率和使用寿命。 4、采用PID控制器 ，可以设置30段升降温程序。 5、已通过CE认证。 |
技术参数 | 管式炉 1、电源：单相AC 208-240V 50/60Hz 6KW 2、炉管：高纯氧化铝陶瓷管，外径Φ100mm，内径Φ92mm，长1000mm 3、加热元件：1800℃硅钼棒8根 4、加热区域：457mm 5、恒温区域：150mm 6、工作温度：zui高1650℃，连续工作1600℃ 7、zui大升温速率：≤5℃/min 8、控温精度：±1℃ 9、热电偶：B型 10、不锈钢真空法兰：1对 11、机械压力表：1个 12、针阀：2个 13、连接器：KF-25，1个 14、抽气接口：KF-25转KF-40 15、卡套接头：1/4″ |
高真空机组 1、电源：单相AC208-240V 50/60Hz 100-110W 2、真空泵：德国Pfeiffer真空泵 3、显示屏：LCD数字显示 4、抽气速率：N2-33L/s，He-39L/s，H2-32L/s 5、工作范围：1000mtorr-10-7mtorr 6、极限：10-8mtorr（无泄漏） | |
质量流量混气系统 1、电源：单相AC208-240V 50/60Hz 18W 2、功率：18W 3、混气箱：Φ80mm×120mm | |
产品规格 | 尺寸：管式炉550mm×380mm×520mm，高真空机组600mm×600mm×700mm，质量流量混气系统600mm× 600mm×700mm |
