Hitachi SU9000-新型超高分辨冷场发射扫描电镜-广州仪德精密科学仪器股份有限公司

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扫描电子显微镜（电镜）

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日立2011年新推出了SU9000新型超高分辨冷场发射扫描电镜，达到扫描电镜高二次电子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采取了全新改进的真空系统和电子光学系统，不仅分辨率性能明显提升，而且作为一款冷场发射扫描电镜甚至不需要传统意义上的Flashing操作，可以高效率的快速获取样品超高分辨扫描电镜图像。

详细介绍

产品特点：

1. 新型电子光学系统设计达到扫描电镜高分辨率：二次电子0.4nm（30KV），STEM 0.34nm（30KV）。

2. Hitachi专li设计的E×B系统，可以自由控制SE和BSE检测信号。

3. 全新真空技术设计使得SU9000冷场发射电子束具有超稳定和高亮度特点。

4. 全新物镜设计显著提高低加速电压条件下的图像分辨率。

5. STEM的明场像能够调整信号检测角度，明场像、暗场像和二次电子图像可以同时显示并拍摄照片。

6. 与FIB兼容的侧插样品杆提高更换样品效率和高倍率图像观察效率。

新型超高分辨冷场发射扫描电镜技术参数

项目			技术指标
二次电子分辨率			0.4nm （加速电压30kV，放大倍率80万倍）
			1.2nm （加速电压1kV，放大倍率25万倍）
STEM分辨率			0.34nm（加速电压30kV，晶格象）
观测倍率			底片输出	显示器输出
LM模式			80~10,000x	220~25,000x
HM模式			800~3,000,000x	2,200~8,000,000x
样品台		侧插式样品杆
样品移动行程	X		±4.0mm
	Y		±2.0mm
	Z		±0.3mm
	T		±40度
标准样品台			平面样品台：5.0mm×9.5mm×3.5mmH
			截面样品台：2.0mm×6.0mm×5.0mmH
样品台			截面样品台：2.0mm×12.0mm×6.0mmH
			双倾截面样品台：0.8mm×8.5mm×3.5mmH
信号检测器			二次电子探测器
			TOP 探测器（选配）
			BF/DF 双STEM探测器（选配）