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从而快速提供可靠的测试结果 智能真空泵设计,带有刚性涡旋泵和多进口涡轮分子泵,可提供高氦气泵速和高压缩率 旋转式显示器和用户界面允许用户简单轻松地控制和干预装置 自我保护功能可保护 UL1000 Fab 免受氦气和粒子污染 自动冲净周期确保清洁和准备就绪,可以随时进行测试 通过电子邮件升级软件

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