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HPG400 可节省成本和工具空间,降低真空系统的安装与设置的复杂性 高压热电离可以准确可靠地测量 1 X 10-5 至 1 mbar 范围内的压力,进而改善过程控制 用户可选的热电离发射在 5 X 10-2 至 1 mbar 之间启动 皮拉尼联锁保护丝极,防止过早烧毁

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