DS300质量流量控制器气体配比器

DS300压力式气体质量流量控制器是针对半导体行业开发的一款适用于半导体装备的气体质量流量控制器，用于半导体器件的刻蚀、溅射等工艺。DS300采用基于压力原理的流量传感器技术和高精度压电阀控制技术使产品具有零漂小，精度高，响应速度快，压力不敏感的特点，产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属，金属表面状况符合SEMI标准的要求。

DS300质量流量控制器气体配比器

• 控制精度高，精度可达±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
• 响应速度快，响应时间≤ 0.5sec。
• 采用基于压力原理的流量传感器技术，使产品具有压力不敏感特性，能够适用较大的气源压力波动。
• DS300采用有效的机械加工技术与表面处理技术解决深小孔不能或者很难电抛光(EP)的难题，实现孔径相对较小(孔径<1mm)、深径比相对较大(>10)的不锈钢小孔、深盲孔以及交叉孔的表面电化学抛光处理，*符合SEMI标准要求。

技术参数

DS300C
类型	DS300C
阀类型	常闭
流量规格(N2)	(0～30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10) SLM
准确度	±1% S.P. (≥10% F.S.) ±1% F.S. (＜10% F.S.)
线性	±0.5% F.S.
重复精度	±0.2% F.S.
响应时间	≤ 0.5sec
进口压力	240～450KPa 流量规格≤5SLM 350～450KPa 流量规格＞5SLM
出口压力	≤1.2KPa 流量规格≤5SLM ≤13.3KPa 流量规格＞5SLM
温度系数	零点：≤±0.02% F.S./℃；调节时：≤±0.1% F.S./℃
耐压	3 MPa
漏率	1×10-11 Pa·m3 / sec He
密封材料	金属密封
工作压力	0.45MPa
工作环境温度	（10～45）℃
输入信号	数字：RS485 或 DeviceNet 模拟：(0～5)VDC
输出信号	数字：RS485 或 DeviceNet 模拟：(0～5)VDC
零漂	在没有零点校正时＜0.6%F.S./年
电源	±8～±16 VDC (双极) 或 +14～+28 VDC (单极)
表面化学成分	Cr/Fe比例≥2.0； CrO 厚度≥20 （埃）
表面粗糙度	Ra 5μinch
标准接头形式	VCR1/4阳接头； 1.125″C型密封接头； 1.125″W型密封接头； Compression Fittingφ6
电源接头形式	D型9针阳接头； D型15针阳接头； DeviceNet接头
重量	1.2Kg