| 型号 | M80 | M120 | M82 | M112 |
| 工件尺寸 | 6″＆8″ | 12″ | 6″＆8″ | 12″ |
| 晶圆厚度 | 150-800μm | 150-800μm | 150-750μm | 150-750μm |
| 膜类型 | 蓝膜＆UV膜 | |||
| 膜厚度 | 0.05-0.2mm | |||
| 膜宽度 | 270-330mm | 330-400mm | 270-330mm | 330-400mm |
| 工作台 | 防静电特氟龙处理 | |||
| 加热温度 | 室温-150℃ | |||
| 效率 | 80片/小时 | 70片/小时 | 80片/小时 | 70片/小时 |
| 供气 | 0.5Mpa洁净干燥压缩空气 | |||
| 供电 | AC220V,10A | AC220V,10A | AC220V,16A | AC220V,16A |
| 外形尺寸 W*D*H | 360mm*860mm*560mm | 560mm*1000mm*600mm | 600mm*960mm*500mm | 660mm*1100mm*500mm |
| 重量 | 50kg | 60kg | 80kg | 110kg |
主要特点：
1、M80&M120
的防静电滚轮贴膜；
手动拉膜及贴膜；
手动晶圆上下料；
圆周刀弹性结构，割膜力度可调；
结构合理换刀方便；
工作台浮动设计，高度可调；
离型膜自动缠绕回收；
可根据需求做定制化；
2、M82&M122
的防静电滚轮贴膜；
防静电离子风机；
自动胶膜传送及贴覆；
贴膜压力及速度均可调；
手动晶圆上下料；
触摸屏操作面板
基于PLC程序控制；
可根据需求做定制化；
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