M81 划片贴膜机
规格:
型号 | M81 |
划片环尺寸 | 6、8英寸,也可定制 |
晶圆规格 | 兼容4、5、6、8英寸晶圆,也可定制 |
晶圆厚度 | 150um - 800um |
蓝膜或UV膜 | |
膜种类 | 宽度≤300mm, 膜料外径≤200mm, 厚度0.05mm-0.2mm |
电力供应 | AC220V ,50/60 Hz, 5A |
功率 | 小于400W |
压缩空气 | 0.5Mpa清洁干燥压缩空气 |
外形尺寸 | 560mm×860mm×360mm |
净重 | 50kg |
性能:
晶圆收益:≥99.9%
贴膜质量:没有气泡(不包括碎粒气泡)
产能:≥90片/小时
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