六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小 真空兼容型可达10-6百帕.
无刷直流电机(BLDC)
无刷直流电机尤其适合高旋转速度。能够精确对其进行控制并确保高精度。由于无滑动接触，可无磨损地平稳运行，因此能够实现较长的使用寿命。
应用领域
科研和工业，标准和真空环境。用于微制造、医药技术、刀具控制。
| H-811.I2 | 单位 | 公差 | |
|---|---|---|---|
| 主动轴 | X，Y，Z，θX，θY，θZ | ||
| 运动和定位 | |||
| X、Y向上的行程* | ±17, ±16 | 毫米 | |
| Z向上的行程* | ±6.5 | 毫米 | |
| θX、θY向上的行程* | ±10, ±10 | ° | |
| θZ向上的行程* | ±21 | ° | |
| 促动器设计分辨率 | 5 | 纳米 | |
| X、Y向上的最小位移 | 0.2 | 微米 | 典型值 |
| Z向上的最小位移 | 0.08 | 微米 | 典型值 |
| θX、θY、θZ向上的最小位移 | 2.5 | 微弧度 | 典型值 |
| X、Y向上的空回 | 0.2 | 微米 | 典型值 |
| Z向上的空回 | 0.06 | 微米 | 典型值 |
| θX、θY向上的空回 | 4 | 微弧度 | 典型值 |
| θZ向上的空回 | 4 | 微弧度 | 典型值 |
| X、Y向上的重复精度 | ±0.15 | 微米 | 典型值 |
| Z向上的重复精度 | ±0.06 | 微米 | 典型值 |
| θX、θY向上的重复精度 | ±2 | 微弧度 | 典型值 |
| θZ向上的重复精度 | ±3 | 微弧度 | 典型值 |
| X、Y和Z向上的速度 | 20 | 毫米/秒 | |
| θX、θY、θZ向上的速度 | 500 | 毫弧度/秒 | |
| Typ. X、Y和Z向上的典型速度 | 10 | 毫米/秒 | |
| Typ. θX、θY、θZ向上的速度 | 240 | 毫弧度/秒 | |
| 机械特性 | |||
| X、Y向上的刚性 | 0.7 | 牛/微米 | |
| Z向上的刚性 | 8 | 牛/微米 | |
| 负载能力（底板为水平方向/任意方向） | 5 / 2.5 | 千克 |
|
| 保持力，断电（底板为水平方向/任意方向） | 15 / 2.5 | 牛 |
|
| 电机类型 | BLDC电机 | ||
| 其他 | |||
| 工作温度范围 | 0 到 50 | °C | |
| 材料 | 不锈钢，铝 | ||
| 质量 | 2.2 | 千克 | ±5 % |
| 电缆长度 | 0.5 + 3 | 米 | ±10 毫米 |
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