产品特点
◆ 轨道宽度可调，可选择同时清洗四种不同宽度的产品。
◆ 片式清洗，清洗效果更明显。
◆ 单边上下料结构， 无需更换料盒， 清洗后的产品自动回到原来的料盒， 杜绝混批。
◆ 双清洗托盘， 一个清洗的同时另一个备料，提高生产效率。
◆ 一键更换产品，设备所有参数及设置自动加载，无需人工设定。
◆ 手动清洗与自动清洗均一键操作，操作使用更简单。
◆ 产品安全多重设计，确保不会造成产品变形损坏。
◆ 四条通道每个地方独立检测，准确判断问题所在。
◆ 设备安全多重设计，确保人身安全。
◆ 模块化设计，国际品牌配置，确保设备稳定运行。
技术参数
电源系统 | 射频电源 | 13.56MHz |
射频功率 | 0-600W | |
真空系统 | 真空管路 | 全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 |
材质 | 铝合金 | |
密封性 | 一体成型 | |
腔体体积 | 9.6L | |
腔体尺寸 | 550*350*50 | |
适用产品尺寸 | 180-280mm*25-90mm( 长 x 宽） | |
适用料盒尺寸 | 180-290mm*25-93X250mm( 长 X 宽 X 高 ) | |
通道数量 | 标准 4 条 ( 可定制 ) | |
电极板大小 | 520x320mm |
等离子激发时间 | 等离子激发清洗时间 | 5Sec |
产量 | UPH | 480( 蛇皮时间 10S,4 条流道时 ) |
清洗能力 | 水滴角 | 水滴角测试 <12° |
流量范围 | 0-300Sccm | |
工艺气体 | 标配 2 路，可定制氩气：3bars 1L/min 氮气：3bars 1L/min | |
其它参数 | 电源 | AC 380V 5.5KW |
外形尺寸 | 1920X1120x2170mm |
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