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您现在的位置: 天津瑞利光电科技有限公司>>材料分析设备>> MRZ-200Meiritz主动气动悬架系统MRZ-200
产品介绍
产品介绍
迄今为止,我们积累的知识已生产出 600 多种类型的被动隔振器。对我们的主动隔振器的需求也在不断增长,尤其是在半导体等高精度制造行业。以MAPS系列为基础,开发出高性能合理的主动气动悬架系统MRZ系列。可应用于半导体设备、电子显微镜、测量机等。
性能特点
- 每个单元有两个气压执行器:垂直和水平,可以体验良好的隔振、准确定位性能。
- FB+FloorFF控制。
- 实现轻巧紧凑,省电,价格合理。
技术参数
- 产地:日本
- 供给气压:0.6~0.8(洁净干燥空气)MPa
- 典型耗气量:45-65l/min
- 耗气量:120l/min
- 电源电压:100~240(单相交流电,50/60Hz)V
- 功耗:120VA
- 环境温度:0~40℃
- 相对湿度:35-85%RH
- 隔振方式:通过气压控制隔振
- 控制器尺寸:W435xD300xH118mm
- 控制器质量:7.5kg
产品参数