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天津瑞利光电科技有限公司
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产品介绍
产品介绍
FemtoLAB 是一款飞秒激光微加工工作站。需要为各种任务定制解决方案的科学实验室和研发部的好选择。FemtoLAB 激光工作站提供亚微米分辨率的组合激光微加工工艺，可执行多种应用。
性能特点
- 制造具有亚微米分辨率的复杂物体
- 高速高精度微加工
- 光束传输和功率控制效率高
- 工业级飞秒激光器
- 高性能检流计扫描仪
- 物体运动与激光脉冲时空同步
- 的软件界面控制所有硬件单元
技术参数
- 产地：立陶宛
- 推荐材料：所有材料：玻璃、蓝宝石、硅、陶瓷、金属、塑料、光纤等。
- 激光：高功率超短脉冲红外、绿光、紫外激光
- 样本量：兼容 160 mm x 160 mm 的设计
- 最小特征尺寸：200纳米
- 定位系统：XYZ 机械轴，定位精度 +- 0.3 μm，具有连续晶圆级图案化
- 扫描系统：适用于所有激光波长的振镜系统
- 样品处理：手动与自动对齐
- 尺寸（长 x 宽 x 高）：1500 × 1350 × 1400mm
- 重量：1100kg
- 电源：2x 220 VAC, 16 A
产品参数
