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天津瑞利光电科技有限公司
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产品介绍
产品介绍
极紫外光(EUV)阿秒多层反射镜设计用于阿秒脉冲的转向、聚焦和整形。他们的多层膜中心位于65eV（19nm），带宽为6eV（1.8nm），为 S 偏振光提供38%的峰值反射率。这些反射镜支持持续时间为330阿秒的极紫外（EUV）脉冲。 UFI极紫外（EUV）阿秒反射镜是基于高次谐波（HHG）、自由电子激光器（FEL）或其他量子光学应用产生和整形阿秒脉冲的理想选择。可提供直径为25.4mm的平面反射镜和凹面反射镜；如果您的应用需要定制中心能量、带宽或其他规格的极紫外（EUV）多层反射镜，请与我们联系。
性能特点
- 设计用于65eV（19nm）下的 330 阿秒脉冲
- 具有38%峰值反射率的多层镀膜
- ≤1Å 表面粗糙度超抛光基底
- 另外提供专为5nm 设计的极紫外（EUV）平面反射镜 和 极紫外（EUV）球面反射镜
技术参数
直径 (mm):25.40 ±0.13
基底: 熔融石英(Corning 7980)
表面质量:10-5 (基质)
涂层规格:Rs > 38% @ 65eV/19nm
涂层: 多层EUV (19nm)
入射角 (°):5
有效孔径 (%):80设计波长 DWL (nm):19
边缘: 精细研磨
表面粗糙度（埃）:<1
中心能源(eV):65 ±2
带宽 (eV):6
支持的脉冲持续时间:330阿秒
边缘厚度 ET (mm):6.35 ±0.20
有效焦距 EFL (mm):500.00
半径 R1 (mm):1000.00
产品参数
