离子注入设备用轴承,离子注入设备的真空室内采用的是捷太格特的高洁净轴承,可避免因在真空中进行润滑、受到磨损等而产生杂质。
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离子注入设备用轴承,离子注入设备的真空室内采用的是捷太格特的高洁净轴承,可避免因在真空中进行润滑、受到磨损等而产生杂质
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