PECVD就是化学气相沉积法，是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。在淀积时，反应气体的多少会影响淀积的速率及其均匀性，用于PECVD系统中，控制均布气体流量，去除过滤气体流路中的杂质。316L不锈钢材质，精心选材，高强度高硬度，耐高压，产品耐腐蚀，不生锈，高精度，过滤效率高，可反复清洗后使用。
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