产品介绍

超快激光微纳加工设备

皮秒紫外激光微纳加工设备采用高性能紫外激光器，激光功率稳定、光束质量好，切割端面光滑，具有较低的热应力及热影响，适用于超薄金属材料（铜、金、银、铝、钛、镍、不锈钢、钼等）、柔性材料（PET、PI、PP、PVC、铁氟龙、电磁膜、胶膜等）、石墨烯、碳纤维、硅片、陶瓷、FPC等材料的切割、打孔、表面微结构（仿生结构）、划线、刻槽处理，以及高分子材料、复合材料的微加工处理。

1. 切割边缘品质好，断面无锥度以及静压强度高等特点；

2. 采用皮秒或者飞秒激光器，超短脉冲加工无热传导，适于任意有机&无机材料的高速切割与钻孔，最小2μm的崩边和热影响区；

3. CCD视觉定位、有效加工幅面250mm×250mm、XY平台精度≤±300nm；

4. 支持多种视觉定位特征，如十字、实心圆、空心圆、L型直角边、影像特征点等；

5. 切割速度快，大幅提高产能，设备无需任何耗材，使用成本优势明显。

超快激光设备微纳精密优势

皮秒冷却激光：皮秒冷却去除，无热作用，多种材料加工灵活性好；

激光切割无应力：物质遇光升华，无需接触，免除应力破坏困扰，专用载具配合激光加工，即使元器件距离切割道非常紧密，也无应力影响，快速分板；

热影响精确控制：根据不同的热影响要求，选择适合的激光器种类，配合适合的激光加工参数，限度降低热影响；