产品名称 | 真空等离子蚀刻机 |
产品型号 | GD-10RF |
控制系统 | PLC+触摸屏 |
电源频率 | 13.56 MHz |
供电电源 | AC220V(±10V) |
电源功率 | 300W(可调) |
气体路数 | 2 路浮子流量控制 |
过程控制 | 自动与手动方式 |
内腔尺寸 (mm) | 200×250×200mm(W×D×H)不锈钢316 |
载物规格 | 175×185(W×D)共3层 |
外形尺寸 | 600×560×600 mm (长×深×高) |
腔体容积 | 10L |
真空度 | 30-100Pa |
可通入气体 | 氩气、氧气、氮气、空气、氢+氮气(混合气体)等 |
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