AMAT 刻蚀设备CENTURA DPS 2，具有4个作业腔室，3个DPS II腔室和一个Axiom室，采用ASHERS过程工艺，针对于12英寸晶圆进行高效处理。
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AMAT刻蚀设备CENTURADPS2，具有4个作业腔室，3个DPSII腔室和一个Axiom室，采用ASHERS过程工艺，针对于12英寸晶圆进行高效处理
AMAT 刻蚀设备CENTURA DPS 2，具有4个作业腔室，3个DPS II腔室和一个Axiom室，采用ASHERS过程工艺，针对于12英寸晶圆进行高效处理。
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