一、概述

1、气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过浮子流量计控制气体流量，然后经过混气罐,再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接 真空泵，一端连接出气口。

2、 混气罐上接有压力表，压力表显示盘与浮子流量计安装在同一面板上。

3、每一条气体管路均有一个高压截止阀。

4、该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。

5、 所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。

二、技术参数：

气路通道： 2  、3  、4、5  、6 、7（可根据需要确定）

气路流量控制：采用浮子流量计或采用质子流量控制器。

质量流量计技术参数：

接 口： Φ6

显 示： 刻度

工作环境温度: 5~45℃

流量控制器：浮子流量计或质子流量控制器( 量程可根据需要确定)

50-500 ml/ min   2ml/ 格

10-100ml/min    2ml/ 格

四 氟 管：Φ6 外 X Φ4 内

压力真空表：－0.1～0.15 MPa , 0.01 MPa/ 格

截 止 阀：Φ6

三、质量流量计技术参数：

产品名称: 质子流量控制器

产品类型: 气体质量流量计 /D07 系列质量流量计

产品描述 :普通型，模拟电路

产品详细描述:普通型，模拟电路，橡胶密封，

管状分流，不易堵塞。

主要指标:

· 量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM

（可以任意选择量程）

· 准确度：±1.5% F.S         · 线性：±0.5～1.5% F.S    · 重复精度：±0.2% F.S      

· 响应时间：10S              · 气压降：<0.01MPa         · 更大压力：3MP

· 工作环境温度：5～45℃      · 输入输出信号：0～+5.00V  · 电源：+15V 50mA -15V 50mA

· 外形尺寸：158*30*110       · 重量：0.9 Kg