层流罩，层流送风单元，空气过滤单元，空气过滤机，百级层流罩是风机和过滤器的组合，也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端，一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块，下面分为过滤器。根据洁净度的要求，过滤器可为不同等级的高效（HEPA）或超高效（ULPA）过滤器，为洁净室提供洁净空气。机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力，还要克服整个循环风所有通道部件的阻力，从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便，风速调节灵活，洁净区易于变更等特点，因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。
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ATF-FFU层流罩主要技术参数
| 型号 | ATF-FFU-2×2 | ATF-FFU-2×3 | ATF-FFU-2×4 | ATF-FFU-3×3 | ATF-FFU-3×4 | ATF-FFU-4×4 |
| 外型尺寸(mm) | W575×D575×H320 | W575×D875×H320 | W575×D1175×H320 | W875×D875×H320 | W875×D1175×H320 | W1175×D1175×H320 |
| 风速 | 0.45±20% | |||||
| 噪音dB(A) | 58 | 58 | 58 | 58 | 58 | 58 |
| 噪音测试位置 | 风速0.45m/s，距出风面0.5m | |||||
| HEPA过滤效率 | ≥99.99%@0.3μm | |||||
| HEPA规格 | 570×570×69 | 570×870×69 | 570×1170×69 | 870×870×69 | 870×1170×69 | 1170×1170×69 |
| 电源电压 | 220V/50Hz | |||||
| 功率(W) | 120 | 125 | 140 | 180 | 240 | 280 |
| 机外余压(Pa) | 50-130 | |||||
| 振动 | ≤4μm | |||||
| 箱体材质 | 镀铝锌板/不锈钢/铝板/冷轧钢板 | |||||
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