| 性能参数 | | | | | | | ||
| 型号 | zui小 表示值（mm） | 测量 范围（mm） | 精度 （μm） | 平行度（μm | 测力 （N） | 测针形状·测砧形状（mm） | 重量（g） | |
| SMD-540J | 0.01 | 12 | 20 | 5 | 1.0以下 | Ф10平 | 290 | |
| SMD-550J | 0.01 | 12 | 20 | 5 | 1.0以下 | Ф10平 | 440 | |
| SMD-565J | 0.001 | 15（12） | 3 | 3 | 1.5以下 | Ф10平 | 470 | |
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