抛光混床超纯水设备又可称之为电子级高纯水设备或者深度脱盐水设备。具体组成是自来水由原水储水箱通过原水增压泵送入砂过滤器，砂过滤器出水再进入活性炭过滤器，再进入精密过滤器，精密过滤器出水满足进二级RO主机要求，进入二级反渗透系统，二级反渗透设备出来的脱盐纯水再进入EDI系统，EDI出来再进入电子级抛光混床系统，出来即是超纯水。

　　抛光混床超纯水设备工艺流程如下

　　自来水→原水箱→原水泵→砂过滤器→碳过滤器→精密过滤器→中间水箱→一级高压泵→一级RO组件→中间水箱→二级高压泵→二级RO组件→纯水箱→EDI送水泵→浓水回流原水箱→EDI装置→纯水箱→纯水输送泵→抛光混床→用水点

　　抛光混床超纯水设备由下列三大部分组成

　　采用美国通用公司GE膜堆各种进口仪表组装而成，进一步对RO纯水(电导率小于3μs/cm)进行脱盐处理。它具有技术、操作简便和良好的环保特性，无需酸碱而能连续制取高品质纯水，出水电阻率稳定在15MΩ.cm以上。

　　DI装置由3台EDI膜堆和1台高频开关电源构成，设有缺水保护。整机有漏电保护，安全可靠。

　　EDI系统配置一套化学清洗系统。主要用途是在EDI膜堆被污染时，用来对EDI系统进行化学清洗，化学清洗装置与RO清洗装置共用。

　　抛光混床超纯水设备、电子行业超纯水设备以满足需要用水水质及水量的要求，包括：砂过滤系统、碳过滤系统、反渗透(RO)脱盐系统、EDI电再生除盐系统、计量加药系统、电气系统、控制系统和其它辅助系统设备。系统包括设备、阀门、管道、附件及各单元控制设备、仪表及附件等。整个水处理系统的各设备间采用联锁保护，有利于纯水设备的安全运行。