生产设备 Tetra 2800-LF-PC 具有 2,800 升的真空容积，并配有 PC 控制系统，可用于批量生产（清洗、蚀刻和活化）：
技术参数
开关柜：
宽 600 mm、高 1700 mm、深 800 mm
腔室：
∅ 1200 mm、深 2500 mm
腔室容积：
约 2800 升
气源：
3 个由 MFCs 控制的气体通道
发生器：
1 件 (40 kHz)
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）
控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
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