德国Diener electronic成立于1993年，是世界低温等离子工业的，是一家专门研发和制造低温低压等离子清洗机、等离子射频电源和大气（常压）等离子清洗机的高科技企业。
用途：
Diener等离子清洗机可用于清洗、刻蚀、磨砂和表面准备等。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器，以适应不同的清洗效率和清洗效果需要。
Diener等离子清洗/刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点，主要适合于高科技生产单位的以下场合：
半导体开发、集成电路开发、真空电子行业、生命科学实验等等。
Diener等离子清洗/刻蚀机具有以下特点：
可以更灵活地操作，简便地改变处理气体的种类和处理程序；不会对操作人员的身体造成任何伤害；其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。
Femto A |
Femto C |
Femto D
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Femto B
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Femto E |
Femto 等离子系统能够以不同的形式进行整合，例如以模块系统的形式。在下文中您可以大致了解能够与Femto 等离子系统一同使用的见的选装件。Femto 等离子系统主要应用于以下领域：
分析
考古
汽车行业
研究和开发部门
半导体技术
小批量生产
塑料技术
医疗技术
微系统技术
传感器
灭菌
纺织技术
技术参数：
系列 | Femto |
控制系统 | 半自动型 PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE) PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
体积 | 1.9~6L |
真空腔室 | 圆形不锈钢件，配有盖子 矩形不锈钢件，配有铰链的门 配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门 配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门 配有盖子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有铰链的门 |
电极 | 单层或多层 RIE |
样品支架 | （选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
气源 | 针型阀 质量流量控制器 (MFCs) |
压力计 | Pirani Baratron（适用于腐蚀性气体版本） |
计时器 | 数字型 |
高频电流发生器 | 40 kHz: 功率 0 - 100 W；0 - 1000 W 13.56 MHz；功率 0 - 50 W；0 - 300 W 12.45 GHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W 所有发生器均为 0 - 99% 无级可调型 |
真空泵 | KASHIYAMA |
电源 | 供电电源：台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位 |
其他选项
备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。
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