Horiba X射线荧光分析仪是专门针对WEEE(电气电子产品废弃物处理法令）和RoHS法令（限制电器电子产品使用有害物质法令），快速地测定电子部件中的有害元素的含量。它能对电子电器产品中所含有的有害物质如铅、汞、铬、镉、溴等元素进行快速而准确的分析。另外，通过CCD摄像头可以非常清晰的观察样品表面，选取所需要的测试点，操作非常简单。
X射线荧光是一种可对加工材料和部件进行快速、无损扫描的检测技术。分析时间只需要几分钟，灵敏度可以控制在低于100 ppm (0.01%)。XGT系统的检测限度可以低至2 ppm (0.0002%). 标准的1.2 mm 分析光速可以保证即使是非常小的电子元件和部件也可以独立进行分析。
XGT-5200WR为WEEE/RoHS, ELV和中国RoHS特别设计，用于5元素(Pb/Cd/Cr/Hg/Br)高灵敏度测量并带有X射线显微镜功能。
◆ 400μm的X射线光斑，为有害元素的控制提供了高分辨率的扫描分析，适合小到IC集成块单一引脚的分析。同时提供小光斑—10μm （可选配件）。
◆ SDD检测器极大地提高了分辨率和计数率，且无需使用液氮（LN2）。
◆ 无需任何样品制备或真空--样品仅需要放置在样品室中，即可在正常大气压力下分析。
◆ 整合的软件可控制样品的移动，获取数据分析（包括定性和定量分析，并生成成分组成图像）。
◆ 样品观察采用同轴几何呈象，可消除视差。
特征
◆ 同时显示X射线荧光元素分布图和X射线透过像
◆ 适用RoHS/ELV/无卤指令的分析
◆ 小光斑：Φ10μm（可选）
◆ 膜厚测量（微区多层膜厚参数法）、Excel数据管理软件、多点分析（最多1000点）
◆ 的操作性和简便的维护性
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