特点
● 工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。
● 采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可在洁净的环境下进行高温烘烤。
● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量极低。
● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。
● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。
● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式。
安全性
● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。
规格：
| 型号 | DTN430C | DTN630C | DTN450C | DTN650C | ||||
| 方式 | 氮气置换+ 强制送风循环 | |||||||
| 性能 | 使用温度范围 | 室温+50～360℃ | 室温+50～500℃ | |||||
| 温度调节精度 | ±0.5℃（at360℃） | ±1.0℃（at500℃） | ||||||
| 温度分布精度 | ±5.0℃（at360℃） | ±8.0℃（at500℃） | ||||||
| 温度到达时间 | 约80分钟 | 约110分钟 | ||||||
| 氧浓度 | 20ppm 以下 | |||||||
| 氧浓度到达时间 | ≤ 20分（250L/min 氮气） | ≤ 25分（250L/min 氮气） | ≤ 20分（250L/min 氮气） | ≤ 25分（250L/min 氮气） | ||||
| 洁净度 | 温度恒定时100级
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| 构成 | 内装 | 不锈钢板 | ||||||
| 外装 | 冷轧钢板，表面耐药品性涂装 | |||||||
| 断热材 | 硅酸铝棉 | |||||||
| 加热方式 | 不锈钢加热管 | |||||||
| 加热功率 | 主加热器 | 6.75KW | 9KW | 9.5KW | 14.2KW | |||
| N2预热 | 1KW | |||||||
| 冷却机构 | 不锈钢冷却水换热器 | |||||||
| HEPA过滤器 | 集尘效率：0.3um粒子99.97%以上 | |||||||
| 控制器 | 温度控制方式 | PID控制 | ||||||
| 温度控制器 | 液晶触摸屏+PLC | |||||||
| 运行功能 | 手动定值运行、自动程序运行 | |||||||
| 程序模式 | 程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展） | |||||||
| 附加功能 | 操作员等级认证 | |||||||
| 加热器回路控制 | SSR驱动 | |||||||
| 传感器 | K型热电偶（温度控制及过升防止器） | |||||||
| 安全装置 | 门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、 风机过载检测、过电流漏电保护开关等 | |||||||
| 规格 | 内尺寸（宽×深×高mm） | 450×450×450 | 660×500×660 | 450×450×450 | 660×500×660 | |||
| 外形尺寸（宽×深×高mm） | 1090×950×1540 | 1300×1000×1750 | 1240×1010×1750 | 1450×1060×1960 | ||||
| 内容积 | 91L | 216L | 91L | 216L | ||||
| 棚板层数/层间距 | 12层/30mm | 19层/30mm | 12层/30mm | 19层/30mm | ||||
| 排气口 | 40KF法兰 | |||||||
| 氮气入口 | Rc1/2 | |||||||
| 冷却水入口 | Rc3/4 | |||||||
| 热水出口 | Rc3/4，2个 | |||||||
| 电源（50/60Hz）额定电流 | 3相AC380V 16A | 3相AC380V 19A | 3相AC380V 20A | 3相AC380V 27A | ||||
| 重量 | 约900kg | 约1100kg | 约900kg | 约1100kg | ||||
| 选购品 | 棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能 | |||||||
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